目前,洁净车间已广泛应用于各行各业的产品生产或其他要求防止粒子污染、微生物污染的环境控制,由于各行各业的产品特性不同、各种产品的生产工艺不相同,使用要求不同,因此要求控制环境的内容、指标均不会相同。
所谓无尘车间的环境控制的内容应该包括:空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。所以无尘车间的设计不仅要求对室内的空气进行净化达到规定的空气洁净度等级,还必须防止因无尘车间的建造用材料、装饰方式不当带来的污染,有的无尘车间还要求供给超纯水、超纯气体和高纯的化学品等。
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洁净室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,宁波市无菌室,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,无菌室装修,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
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无尘车间使用的过滤器的分类决定于过滤器的效率,过滤器的效率与过滤器的材料密切相关。根据过滤器的结构形式,过滤器又可以分为板式、袋式、密措式(无隔板式)、隔板式以及滤筒式、自洁式等等。根据过滤器是否可以清洗回收,又分为可清洗型、不可清洗型以及耐清洗型。
浙江科洁净化工程有限公司是国内的净化工程公司,有无尘车间专业团队为您设计、施工、调试、检测和维护等一条龙服务.本公司专业承接:无尘车间工程,无尘车间装修,无尘车间施工,杭州无尘车间,杭州车间净化,无菌室设计,杭州洁净室,珠三角无尘车间、洁净车间等等.选择科洁净,可为您终生免费保养,解决您的售后烦恼!