净化车间要考虑六个要素:一个品质良好的净化车间需以下各组成部分:
1.天花板系统:包括吊杆、钢梁、天花板格子。
2.空调系统:包括压差、过滤器系统。
3.隔墙工程:净化窗户(包括观察窗)、净化安全门。
4.地板:包括PVC防静电地板、环氧树脂地坪。
5.照明器具:净化灯。
6.空调机。
浙江科洁净化工程有限公司净化工程分公司,是浙江以净化彩钢板.水电.暖通.工艺管道.洁净地面施工的二级安装企业,公司集设计,调试,GMP检测,维修,保养等一系列综合服务公司,公司拥有净化安装行业工作经验丰富的专业施工队伍,和数名专业工程师,欢迎您前来咨询。
洁净室的温湿度主要是根据客户的加工工艺要求来确定,在满足加工工艺的条件下,应该考虑人的舒适感。随着空气洁净度要求的提高,工艺对温湿度的要求也越来越高,必须达到一定的温湿度等级。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,台州无尘车间,特别是怕钠的半导体车间,无尘车间装修,这种车间不宜超过25度。
无尘车间空气净化处理
一、各等级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。
注1:100,000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。
二、确定集中式或分散式净化空气调节系统时,应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积、位置等因素。凡生产工艺连续、洁净室面积较大时,位置集中以及噪声控制和振动控制要求严格的洁净室,宜采用集中式净化空气调节系统。
三、空调净化空气调节系统设计应合理利用回风,无尘车间设计,凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求,或对其他工序有危害时,则不应用回风。
四、空调净化空气调节系统除直流式系统和设置值班风机的系统外,光电无尘车间,应采取防止室外污染空气通过新风口参入洁净室内的防倒灌措施。
五、空气过滤器的选用布置和安装方式,应符合下列要求:
1、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器。
2、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段。
3、高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端。
4、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用。
5、阻力、效率相近的高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内。
6、高效空气过滤器安装方式应简便可靠,易于检漏和更换。
六、送风机可按净化空气调节系统的总送风量和总阻力值进行选择,中效、高效空气过滤器的阻力宜接其初阻力的两倍计算。
七、空调净化空气调节系统如需电加热时,应选用管状电加热器,位置应布置在高效空气过滤器的上风侧,并应有防火安全措施。